АМОРФНЫЙ ОКСИД ВАНАДИЯ – НЕОРГАНИЧЕСКИЙ РЕЗИСТ ДЛЯ НАНОЛИТОГРАФИИ
Источник:
Основным технологическим процессом в микроэлектронике в течении более 40 лет продолжает оставаться литография. Литографические процессы классифицируются по способу энергетического воздействия (экспонирования) на чувствительный слой (резист) наносимый на полупроводниковую подложку: оптическая, электронно-лучевая (ЭЛ), рентгеновская и ионная литография. Анализируя ключевые аспекты литографического процесса с разрешением <100 нм, нужно выделить две основные проблемы: источник экспонирования и адекватный резист. Любые из разрабатываемых систем экспонирования (в частности, оптические DUV и EUV и ЭЛ) в принципе обеспечивают необходимое разрешение, тогда как проблема резиста остается открытой [1]. Одна из нерешенных задач заключается в низкой стойкости к плазменным процессам существующих резистов. Резистивные материалы, представляющие собой органические полимерные композиции (например, PMMA), легко разрушаются в ходе плазменного травления.
Ранее нами было показано [2], что перспективными для разработки неорганических резистов являются метастабильные аморфные пленки диоксида ванадия, имеющие высокую чувствительность к фотонному и электронному облучениям.
В данной работе представлены результаты, полученные при разработке электронно-лучевого литографического процесса с негативным неорганическим резистом на основе аморфных оксидов ванадия. Аморфные пленки оксида ванадия были получены методом анодного окисления. После ЭЛ обработки происходит изменение физико-химических свойств материала, заключающееся, в частности, в росте плазменной и химической стабильности оксида, что позволяет проводить селективное травление пленки на этапе проявления резиста. Перечислим основные параметры и характеристики оксидно-ванадиевого резиста.
Чувствительность к электронно-лучевому экспонированию Dmin. Чувствительность зависит от параметров экспонирования, условий окисления, времени хранения. Для энергии электронов в пределах 1-15 кэВ минимальные дозы обеспечивающие проявление линий шириной ~ 100 нм достигали 15-20 мкКл/см2. Для энергий электронов 20-50 кэВ Dmin увеличивается до 50-100 мкКл/см2. Отметим также, что Dmin зависит от экспозиционного тока и уменьшается с его ростом.
Разрешение оксидно-ванадиевого резиста. При 50 кВ экспонировании было получено разрешение меньше 100 нм (~ 70 нм). Экспозиционные дозы при этом достигали значений 200 - 300 мкКл/см2. Уменьшение размера зерен металлического ванадия или переход на альтернативные методы получения оксидных слоев обеспечивает более высокое разрешение.
Термо- и плазмостабильность оксидно-ванадиевого резиста. Каждый из слоев оксидно-ванадиевого резиста обладает высокой термо и плазмостабильностью, характерной для неорганических материалов. Это позволяет проявлять резист сухими плазменными процессами, которые обеспечивают высокое разрешение.
Для оптимального литографического процесса необходимо обеспечить отношение высоты линии резиста к ширине ~ 1: 1. Высокая стабильность оксида ванадия позволяет проводить подобный режим травления.
В заключение рассмотрим возможные механизмы трансформации свойств оксидов переходных металлов под действием электронного облучения. При больших дозах облучения характер модификации свойств аналогичен процессам, наблюдаемым при термической обработке оксидных пленок. Доминирующей причиной модификации свойств в данном случае являются кристаллизационные процессы в исходно аморфных структурах. Естественно предположить развитие процессов кристаллизации и при ЭЛ обработке оксидов. Это подтверждается прямыми рентгенографическими исследованиями изменения структуры аморфных оксидов ванадия [3].
Определенные сложности возникают при анализе эффекта модификации свойств оксидов при низких плотностях энергии (малых дозах). Мы полагаем, что наиболее вероятным процессом в данном случае является электронно-лучевое возбуждение перехода металл-изолятор в VO2 и переход пленки в металлическое состояние. При этом также происходит электронно-индуцированное изменение стехиометрии оксида за счет перераспределения кислорода между внешними (V2O5) внутренними (VO2) слоями оксида, а также металлической подложкой. Дальнейшая генерация, под действием облучения, дефектов нестехиометрии типа кислородных вакансий, играющих роль донорных центров, будет стабилизировать металлическую фазу VO2.
Работа выполнена при поддержке гранта Министерства Образования РФ и Американского Фонда Гражданских Исследований и Развития (CRDF) № PZ-013-02.
- E.H.Anderson, G.G.Barclay, L.E.Ocola, R.L.Brainard // Microelectronic Engineering. 2002,V.61-62, P.707-715.
- A.L. Pergament, G.B. Stefanovich, E.L. Kazakova, D.G. Stefanovich, A.A. Velichko // Sol. St. Phenomens, 2003, V. 90-91, P.97-102.
- Г. Б. Стефанович, А.Л. Пергамент, А.А. Величко, Д.Г. Стефанович, Н.А. Кулдин, П. П. Борисков // Сбор. док. 15-го Межд. симпозиума «Тонкие пленки в оптике и электронике, Харьков, 2003, C.263-267.
Отзывы (через Facebook):
Оставить отзыв с помощью аккаунта FaceBook:
Статья в формате PDF 97 KB...
14 06 2021 12:34:54
Статья в формате PDF 225 KB...
13 06 2021 4:52:50
Статья в формате PDF 120 KB...
12 06 2021 4:48:19
Применен метод дисперсионного анализа для изучения силы влияния различных комплексных природных факторов на изменчивость длины шишки ели сибирской, произрастающей в Уральской лесорастительной провинции. Показано, что наибольшее влияние на изменчивость длины шишки в этом районе имеют индивидуальные особенности деревьев, долгота местности и высота над уровнем моря. ...
11 06 2021 17:23:24
Статья в формате PDF 125 KB...
10 06 2021 21:40:28
Краниальные брыжеечные лимфатические узлы у новорожденных белой крысы располагаются главным образом вдоль ствола одноименной артерии и отличаются слабо дифференцированной паренхимой. ...
09 06 2021 23:16:47
Статья в формате PDF 114 KB...
08 06 2021 12:52:16
Статья в формате PDF 303 KB...
07 06 2021 16:42:25
Статья в формате PDF 305 KB...
06 06 2021 15:38:45
Статья в формате PDF 110 KB...
04 06 2021 14:29:25
Статья в формате PDF 109 KB...
03 06 2021 4:13:45
Статья в формате PDF 107 KB...
02 06 2021 18:55:54
Статья в формате PDF 104 KB...
01 06 2021 23:44:22
Статья в формате PDF 104 KB...
31 05 2021 0:15:59
Статья в формате PDF 110 KB...
30 05 2021 15:41:54
Статья в формате PDF 180 KB...
29 05 2021 8:45:14
Статья в формате PDF 132 KB...
28 05 2021 18:23:31
Статья в формате PDF 115 KB...
27 05 2021 19:29:31
Статья в формате PDF 127 KB...
25 05 2021 17:27:30
Статья в формате PDF 102 KB...
24 05 2021 9:40:49
Статья в формате PDF 168 KB...
23 05 2021 4:19:57
В современных условиях жизни требуются люди, знакомые с экологическими проблемами. В этой работе рассматриваются несколько нетрадиционные, но очень эффективные способы соединения экообразования детей и развития творческой индивидуальности посредством уроков флористики. Творчество флористов базируется на использовании самых необычных комбинаций искусно высушенных цветков и некоторых других частей растений, сохраняющих исходную форму и цвет. Изучая принципы флористики, ребёнок узнаёт как об экологических проблемах, так и о флоре и фауне, и учится ценить красоту и гармонию мира как источник личных черт и творческих способностей. ...
22 05 2021 15:35:40
Статья в формате PDF 172 KB...
21 05 2021 5:11:40
Статья в формате PDF 94 KB...
20 05 2021 17:32:43
Статья в формате PDF 141 KB...
19 05 2021 14:38:35
Статья в формате PDF 100 KB...
18 05 2021 4:57:35
Статья в формате PDF 365 KB...
17 05 2021 14:29:54
Статья в формате PDF 278 KB...
16 05 2021 13:56:38
Статья в формате PDF 102 KB...
15 05 2021 6:36:55
Статья в формате PDF 284 KB...
14 05 2021 8:20:23
Статья в формате PDF 120 KB...
13 05 2021 13:28:36
Статья в формате PDF 306 KB...
12 05 2021 5:32:47
Статья в формате PDF 277 KB...
11 05 2021 7:42:41
Статья в формате PDF 114 KB...
10 05 2021 3:18:22
Статья в формате PDF 109 KB...
09 05 2021 16:41:18
Статья в формате PDF 110 KB...
08 05 2021 20:55:30
Статья в формате PDF 120 KB...
06 05 2021 0:37:40
Статья в формате PDF 162 KB...
05 05 2021 3:29:11
Статья в формате PDF 121 KB...
04 05 2021 0:19:54
Статья в формате PDF 90 KB...
03 05 2021 15:10:36
Статья в формате PDF 129 KB...
02 05 2021 9:41:36
Статья в формате PDF 241 KB...
01 05 2021 12:33:36
Статья в формате PDF 160 KB...
30 04 2021 0:30:14
Статья в формате PDF 133 KB...
29 04 2021 12:18:58
Статья в формате PDF 98 KB...
28 04 2021 10:40:33
Статья в формате PDF 123 KB...
27 04 2021 15:13:22
Еще:
Обзоры -1 :: Обзоры -2 :: Обзоры -3 :: Обзоры -4 :: Обзоры -5 :: Обзоры -6 :: Обзоры -7 :: Обзоры -8 :: Обзоры -9 :: Обзоры -10 :: Обзоры -11 ::
Последовательность подготовки научной работы может быть такой: