АМОРФНЫЙ ОКСИД ВАНАДИЯ – НЕОРГАНИЧЕСКИЙ РЕЗИСТ ДЛЯ НАНОЛИТОГРАФИИ
Основным технологическим процессом в микроэлектронике в течении более 40 лет продолжает оставаться литография. Литографические процессы классифицируются по способу энергетического воздействия (экспонирования) на чувствительный слой (резист) наносимый на полупроводниковую подложку: оптическая, электронно-лучевая (ЭЛ), рентгеновская и ионная литография. Анализируя ключевые аспекты литографического процесса с разрешением <100 нм, нужно выделить две основные проблемы: источник экспонирования и адекватный резист. Любые из разрабатываемых систем экспонирования (в частности, оптические DUV и EUV и ЭЛ) в принципе обеспечивают необходимое разрешение, тогда как проблема резиста остается открытой [1]. Одна из нерешенных задач заключается в низкой стойкости к плазменным процессам существующих резистов. Резистивные материалы, представляющие собой органические полимерные композиции (например, PMMA), легко разрушаются в ходе плазменного травления.
Ранее нами было показано [2], что перспективными для разработки неорганических резистов являются метастабильные аморфные пленки диоксида ванадия, имеющие высокую чувствительность к фотонному и электронному облучениям.
В данной работе представлены результаты, полученные при разработке электронно-лучевого литографического процесса с негативным неорганическим резистом на основе аморфных оксидов ванадия. Аморфные пленки оксида ванадия были получены методом анодного окисления. После ЭЛ обработки происходит изменение физико-химических свойств материала, заключающееся, в частности, в росте плазменной и химической стабильности оксида, что позволяет проводить селективное травление пленки на этапе проявления резиста. Перечислим основные параметры и характеристики оксидно-ванадиевого резиста.
Чувствительность к электронно-лучевому экспонированию Dmin. Чувствительность зависит от параметров экспонирования, условий окисления, времени хранения. Для энергии электронов в пределах 1-15 кэВ минимальные дозы обеспечивающие проявление линий шириной ~ 100 нм достигали 15-20 мкКл/см2. Для энергий электронов 20-50 кэВ Dmin увеличивается до 50-100 мкКл/см2. Отметим также, что Dmin зависит от экспозиционного тока и уменьшается с его ростом.
Разрешение оксидно-ванадиевого резиста. При 50 кВ экспонировании было получено разрешение меньше 100 нм (~ 70 нм). Экспозиционные дозы при этом достигали значений 200 - 300 мкКл/см2. Уменьшение размера зерен металлического ванадия или переход на альтернативные методы получения оксидных слоев обеспечивает более высокое разрешение.
Термо- и плазмостабильность оксидно-ванадиевого резиста. Каждый из слоев оксидно-ванадиевого резиста обладает высокой термо и плазмостабильностью, характерной для неорганических материалов. Это позволяет проявлять резист сухими плазменными процессами, которые обеспечивают высокое разрешение.
Для оптимального литографического процесса необходимо обеспечить отношение высоты линии резиста к ширине ~ 1: 1. Высокая стабильность оксида ванадия позволяет проводить подобный режим травления.
В заключение рассмотрим возможные механизмы трансформации свойств оксидов переходных металлов под действием электронного облучения. При больших дозах облучения характер модификации свойств аналогичен процессам, наблюдаемым при термической обработке оксидных пленок. Доминирующей причиной модификации свойств в данном случае являются кристаллизационные процессы в исходно аморфных структурах. Естественно предположить развитие процессов кристаллизации и при ЭЛ обработке оксидов. Это подтверждается прямыми рентгенографическими исследованиями изменения структуры аморфных оксидов ванадия [3].
Определенные сложности возникают при анализе эффекта модификации свойств оксидов при низких плотностях энергии (малых дозах). Мы полагаем, что наиболее вероятным процессом в данном случае является электронно-лучевое возбуждение перехода металл-изолятор в VO2 и переход пленки в металлическое состояние. При этом также происходит электронно-индуцированное изменение стехиометрии оксида за счет перераспределения кислорода между внешними (V2O5) внутренними (VO2) слоями оксида, а также металлической подложкой. Дальнейшая генерация, под действием облучения, дефектов нестехиометрии типа кислородных вакансий, играющих роль донорных центров, будет стабилизировать металлическую фазу VO2.
Работа выполнена при поддержке гранта Министерства Образования РФ и Американского Фонда Гражданских Исследований и Развития (CRDF) № PZ-013-02.
- E.H.Anderson, G.G.Barclay, L.E.Ocola, R.L.Brainard // Microelectronic Engineering. 2002,V.61-62, P.707-715.
- A.L. Pergament, G.B. Stefanovich, E.L. Kazakova, D.G. Stefanovich, A.A. Velichko // Sol. St. Phenomens, 2003, V. 90-91, P.97-102.
- Г. Б. Стефанович, А.Л. Пергамент, А.А. Величко, Д.Г. Стефанович, Н.А. Кулдин, П. П. Борисков // Сбор. док. 15-го Межд. симпозиума «Тонкие пленки в оптике и электронике, Харьков, 2003, C.263-267.
Отзывы (через Facebook):
Оставить отзыв с помощью аккаунта FaceBook:
В работе изучено состояние процессов перекисного окисления липидов и содержание фосфолипазы А2 в периферической крови беременных III триместра с обострением герпес-вирусной инфекции в зависимости от титра антител IgG к вирусу простого герпеса 1 типа. Установлено, что обострение герпес-вирусной инфекции в период гестации способствует активации процессов перекисного окисления липидов, регистрируемого по содержанию Т Б К-активных продуктов (малонового диальдегида), повышению содержания фосфолипазы А2, наиболее выраженное при титре антител IgG к В П Г-1 1:12800 и является причиной деструктивных процессов в составе липидов эритроцитов. ...
03 08 2020 19:26:52
Статья в формате PDF 113 KB...
01 08 2020 6:25:13
Статья в формате PDF 125 KB...
30 07 2020 10:53:51
Статья в формате PDF 95 KB...
29 07 2020 4:59:41
Статья в формате PDF 345 KB...
28 07 2020 0:16:24
Статья в формате PDF 100 KB...
27 07 2020 7:17:16
Статья в формате PDF 85 KB...
26 07 2020 21:52:47
Статья в формате PDF 150 KB...
25 07 2020 15:28:32
В работе рассмотрен вопрос исследования биологической жидкости в формате 3D. ...
24 07 2020 22:47:38
Статья в формате PDF 717 KB...
23 07 2020 19:23:10
Показана возможность использования электрохимически активированной воды (в виде анолита и католита) для повышения урожайности зерновых и овощных (картофеля) культур и улучшения фитосанитарной ситуации с помощью модуля активации оросительной воды. Наиболее энтомоцидным действием в отношении пшеничного трипса обладал анолит с окислительно-восстановительным потенциалом +600 и +900 м В. Католит с О В П – 700 м В способствовал увеличению всхожести до 96%. Хороший результат в борьбе против колорадского жука давала предпосевная обработка клубней картофеля вначале анолитом, а потом католитом. Заселенность кустов колорадским жуком и проволочником снизилась на 37–83%. Наиболее эффективно в плане оптимизации фитосанитарного состояния посевов сочетание предпосевной обработки семян с последующим опрыскиванием стеблестоя католитом или анолитом. ...
22 07 2020 13:40:13
Статья в формате PDF 113 KB...
21 07 2020 20:17:36
Статья в формате PDF 99 KB...
20 07 2020 23:47:38
Статья в формате PDF 108 KB...
19 07 2020 1:10:27
Статья в формате PDF 99 KB...
18 07 2020 4:28:53
Статья в формате PDF 267 KB...
17 07 2020 2:55:35
Статья в формате PDF 118 KB...
16 07 2020 9:36:14
Статья в формате PDF 102 KB...
15 07 2020 23:41:22
Статья в формате PDF 125 KB...
14 07 2020 15:19:55
Статья в формате PDF 102 KB...
13 07 2020 7:57:27
Среди населения Ширванской зоны Азербайджана проведены медико-генетические исследования по выявлению нарушений Ц Н С и органов чувств, установлены типы наследования патологий. Среди 119 больных с 14 наследственными и врожденными заболеваниями 71,43 % приходится на моногенные патологии с аутосомно-рецессивным типом наследования, что объясняется кровнородственными браками среди родителей пробандов. ...
12 07 2020 5:57:21
Статья в формате PDF 298 KB...
11 07 2020 2:42:31
Приводятся результаты исследования восстановления пашен, заброшенных при развитии негативных криогенных процессов и явлений и деформации поверхности. Этот опыт восстановления может использоваться и на долинных сельскохозяйственных угодьях, где распространены близкозалегающие подземные льды, вызывающие деформацию поверхности при мелиоративных воздействиях. ...
10 07 2020 1:56:38
Статья в формате PDF 271 KB...
09 07 2020 15:15:26
Статья в формате PDF 170 KB...
08 07 2020 13:17:20
Статья в формате PDF 139 KB...
07 07 2020 7:42:46
Статья в формате PDF 163 KB...
06 07 2020 19:11:23
Статья в формате PDF 251 KB...
05 07 2020 13:52:49
Статья в формате PDF 109 KB...
04 07 2020 20:36:43
Статья в формате PDF 103 KB...
03 07 2020 17:40:19
Статья в формате PDF 91 KB...
02 07 2020 17:37:11
Статья в формате PDF 101 KB...
01 07 2020 9:35:37
Статья в формате PDF 117 KB...
30 06 2020 9:48:11
Статья в формате PDF 105 KB...
29 06 2020 9:50:40
Способ глазомерного учета выхода сортиментов из деревьев лесного древостоя широко применялся в дореволюционное время под названием коммерческая таксация. Исходя из биотехнического принципа в лесной экономике показана возможность выполнения коммерческой таксации древостоя моделированием стоимостных и возрастных распределений лесных деревьев по текущим рыночным ценам на круглые лесоматериалы. ...
28 06 2020 18:40:53
Статья в формате PDF 117 KB...
27 06 2020 19:35:33
Статья в формате PDF 124 KB...
26 06 2020 21:15:14
Статья в формате PDF 266 KB...
25 06 2020 10:30:11
Статья в формате PDF 123 KB...
24 06 2020 20:28:12
Статья в формате PDF 311 KB...
23 06 2020 20:24:47
Статья в формате PDF 262 KB...
22 06 2020 0:33:22
Статья в формате PDF 101 KB...
21 06 2020 16:11:17
Статья в формате PDF 115 KB...
20 06 2020 5:35:26
Статья в формате PDF 109 KB...
19 06 2020 2:21:11
Статья в формате PDF 288 KB...
17 06 2020 2:50:45
Статья в формате PDF 106 KB...
16 06 2020 17:40:29
Статья в формате PDF 110 KB...
15 06 2020 15:54:21
Статья в формате PDF 146 KB...
14 06 2020 19:23:26
Статья в формате PDF 131 KB...
13 06 2020 4:43:45
Статья в формате PDF 115 KB...
12 06 2020 22:37:38
Статья в формате PDF 304 KB...
11 06 2020 23:30:42
Статья в формате PDF 107 KB...
10 06 2020 5:55:45
Статья в формате PDF 254 KB...
09 06 2020 4:15:33
Статья в формате PDF 250 KB...
08 06 2020 6:19:43
Статья в формате PDF 214 KB...
07 06 2020 6:56:38
Статья в формате PDF 102 KB...
06 06 2020 10:16:16
Статья в формате PDF 123 KB...
05 06 2020 15:13:59
Статья в формате PDF 128 KB...
04 06 2020 14:23:48
Статья в формате PDF 169 KB...
03 06 2020 23:14:49
Статья в формате PDF 124 KB...
02 06 2020 12:41:27
Проведена инвентаризация лихенофлоры Республики Татарстан ( Р Т). Показана роль особо охраняемых природных территорий в сохранении флористического разнообразия. Дан спектр семейств редких видов во флоре обследованной территории и анализ состава географических элементов. Рассмотрено распределение редких видов по основным типам местообитаний. Даются некоторые сведения о редких и исчезающих лишайниках для включения в Красную книгу Р Т. ...
01 06 2020 0:36:50
Статья в формате PDF 117 KB...
31 05 2020 10:49:28
Статья в формате PDF 118 KB...
30 05 2020 3:38:19
Статья в формате PDF 108 KB...
29 05 2020 15:23:57
Статья в формате PDF 495 KB...
28 05 2020 8:45:48
Статья в формате PDF 291 KB...
27 05 2020 13:53:45
Статья в формате PDF 270 KB...
26 05 2020 5:34:48
Статья в формате PDF 241 KB...
25 05 2020 10:25:30
Статья в формате PDF 132 KB...
23 05 2020 22:33:54
Статья в формате PDF 113 KB...
22 05 2020 20:37:29
Статья в формате PDF 117 KB...
20 05 2020 2:38:12
Статья в формате PDF 97 KB...
19 05 2020 10:45:28
В статье описываются математические модели в виде уравнения регрессии, которое позволяет по клиническим признакам хронической сердечной недостаточности со статистической достоверностью предсказать результаты 6-минутного теста. ...
18 05 2020 10:56:36
Статья в формате PDF 106 KB...
17 05 2020 0:35:17
Статья в формате PDF 125 KB...
16 05 2020 22:14:10
Статья в формате PDF 98 KB...
14 05 2020 23:59:10
Статья в формате PDF 704 KB...
13 05 2020 23:25:40
Статья в формате PDF 139 KB...
12 05 2020 6:47:30
Статья в формате PDF 114 KB...
11 05 2020 10:13:26
Статья в формате PDF 257 KB...
10 05 2020 14:58:36
Статья в формате PDF 349 KB...
08 05 2020 20:57:48
Статья в формате PDF 131 KB...
07 05 2020 15:57:22
Статья в формате PDF 125 KB...
06 05 2020 15:16:26
Статья в формате PDF 103 KB...
05 05 2020 10:48:17
Статья в формате PDF 138 KB...
04 05 2020 23:47:39
Построена математическая модель системы управления качеством образования филиала В У За с учетом влияния внешних информационных связей, проведена оценка критерия качества и улучшения внешних связей вследствие внедрения информационной системы. ...
03 05 2020 17:18:11
Статья в формате PDF 99 KB...
02 05 2020 11:27:36
Статья в формате PDF 267 KB...
01 05 2020 7:41:43
Статья в формате PDF 135 KB...
30 04 2020 15:54:56
Статья в формате PDF 135 KB...
29 04 2020 22:46:48
Статья в формате PDF 105 KB...
26 04 2020 12:57:17
Статья в формате PDF 256 KB...
25 04 2020 12:35:51
Статья в формате PDF 117 KB...
24 04 2020 13:15:21
Статья в формате PDF 312 KB...
23 04 2020 15:49:21
Статья в формате PDF 146 KB...
22 04 2020 11:18:40
Статья в формате PDF 133 KB...
21 04 2020 4:36:51
Статья в формате PDF 146 KB...
20 04 2020 7:17:31
Статья в формате PDF 293 KB...
19 04 2020 15:31:20
В костном мозге больных гематологическими заболеваниями выявлено значительное количество эритроклазических кластеров, характеризующихся экзоцитарным лизисом входящих в них эритроцитов кластерообразующими миелокариоцитами разных видов, включая эритрокариоциты. Содержание эритроклазических кластеров с происходящим в них экзоцитарным лизисом эритроцитов варьировало от 21% от всех эритроклазических кластеров в костном мозге больных апластической анемией до 81% в костном мозге больных в активной фазе острого лимфобластного лейкоза, что свидетельствует об интенсивности лизиса в них эритроцитов. С наибольшей интенсивностью лизис эритроцитов происходил в костном мозге больных в активную фазу острого лимфобластного лейкоза и больных хроническим миелолейкозом. При этом в момент исследования подвергались деструкции в эритроклазических кластеров десятки тысяч эритроцитов в мкл костного мозга. Эти данные подтверждают представление о костном мозге как органе гемолиза. ...
18 04 2020 22:26:52
Статья в формате PDF 118 KB...
16 04 2020 1:36:57
Проведено изучение состояние микрофлоры у пациентов после различных операций, выполненных по поводу повреждений селезенки в отдаленном послеоперационном периоде. В результате проведенного исследования установлено, что сохранение селезенки предотвращает изменения микрофлоры, так как полученные результаты соответствовали данным группы сравнения. В тоже время, удаление селезенки приводит к нарушению микрофлоры. ...
14 04 2020 3:57:54
Статья в формате PDF 188 KB...
13 04 2020 4:39:17
Статья в формате PDF 92 KB...
12 04 2020 22:41:52
В статье описывается математическая модель, связывающая уровень психической реакции с личностными характеристиками человека и с силой информационного воздействия на него. Исследуются условия устойчивости модели методами теории автоматического управления. ...
11 04 2020 0:50:57
Статья в формате PDF 101 KB...
10 04 2020 1:49:21
Статья в формате PDF 102 KB...
09 04 2020 9:32:40
К настоящему времени геофизика накопила о магнетизме Земли огромную информацию, большая часть которой получена в новейший период исследований космического пространства путём непосредственных инструментальных исследований с помощью космических летательных аппаратов, но построить на традиционных теоретических основаниях общепризнанную теорию о происхождении магнетизма Земли пока не удавалось никому [1]. Учитывая продуктивность магнитодинамического взгляда ряда фундаментальных проблем физики и многочисленных технических задач [2], можно надеяться на аналогичную продуктивность при рассмотрении некоторых из многочисленных аспектов фундаментальной проблемы стационарного геомагнетизма, среди которых первичной представляется его происхождение. ...
07 04 2020 10:37:10
Статья в формате PDF 227 KB...
06 04 2020 3:50:46
Статья в формате PDF 100 KB...
05 04 2020 9:42:52
Статья в формате PDF 120 KB...
03 04 2020 19:37:17
Статья в формате PDF 231 KB...
02 04 2020 23:39:40
Статья в формате PDF 115 KB...
01 04 2020 17:18:56
Статья в формате PDF 108 KB...
31 03 2020 19:20:58
Статья в формате PDF 113 KB...
30 03 2020 2:46:56
Статья в формате PDF 250 KB...
29 03 2020 3:12:44
Статья в формате PDF 106 KB...
28 03 2020 8:56:36
Статья в формате PDF 89 KB...
26 03 2020 11:21:54
Статья в формате PDF 261 KB...
25 03 2020 4:45:25
Статья в формате PDF 100 KB...
24 03 2020 9:17:40
Статья в формате PDF 384 KB...
23 03 2020 4:59:53
Статья в формате PDF 145 KB...
22 03 2020 18:29:46
В настояще время весьма актуальной является задача поиска, отбора, поддержки и развития интеллектуально одарённых детей. « Трёхкольцевая модель одарённости» Рензулли включает следующие компоненты: высокий уровень интеллекта, креативность и усиленную мотивацию. Такие дети требуют дифференцированных учебных программ и особой педагогической поддержки. В современной практике обучения используются педагогические стратегии и программы, которые предусматривают высокий уровень развития мыслительных процессов, совершенствование творческих способностей и быстрое усвоение знаний, умений и навыков. Процесс обучения одарённых детей требует создания особой образовательной среды. Ключевой фигурой в создании такой среды является учитель. Функция педагога состоит в сопровождении и поддержке, развитии личности ученика. Продуктивность взаимодействий обеспечивается включённостью ученика и учителя в общую целенаправленную деятельность. ...
21 03 2020 8:56:38
Статья в формате PDF 147 KB...
20 03 2020 14:59:14
Статья в формате PDF 252 KB...
19 03 2020 12:14:19
Цель исследования - изучение особенностей клеточного звена иммунитета и содержания цитокинов в сыворотке крови у пациентов с гастроэзофагеальной рефлюксной болезнью и пищеводом Барретта. Обследованы 70 пациентов с эрозивной формой гастроэзофагеальной рефлюксной болезни и 42 пациента с пищеводом Барретта. Применены клинические, эндоскопические, морфологические, иммунологические методы исследования. Выявлены различия в показателях клеточного звена иммунитета и содержания в сыворотке крови интерлейкина-4, интерлейкина-8, интерлейкина-10, фактора некроза опухолей-, интерферона- у больных гастроэзофагеальной рефлюксной болезнью в динамике лечения и у пациентов с пищеводом Барретта. ...
18 03 2020 10:55:14
Статья в формате PDF 296 KB...
17 03 2020 11:30:33
Статья в формате PDF 98 KB...
16 03 2020 4:28:42
Статья в формате PDF 251 KB...
15 03 2020 18:51:30
Статья в формате PDF 101 KB...
13 03 2020 4:20:22
Статья в формате PDF 127 KB...
12 03 2020 7:56:58
Статья в формате PDF 90 KB...
11 03 2020 22:24:56
Статья в формате PDF 104 KB...
10 03 2020 17:17:52
Статья в формате PDF 266 KB...
09 03 2020 5:38:12
В настоящее время одной из наиболее обсуждаемых является тема воздействия интеллигенции на общественно-экономическую жизнь. Интеллигенция, являясь наиболее образованной группой общества, является монополистом в области на духовного и интеллектуального производства. По мере ускорения научно-технического прогресса данная тенденция усиливается. ...
08 03 2020 23:47:59
Еще:
Обзоры -1 :: Обзоры -2 :: Обзоры -3 :: Обзоры -4 :: Обзоры -5 :: Обзоры -6 :: Обзоры -7 :: Обзоры -8 :: Обзоры -9 :: Обзоры -10 :: Обзоры -11 ::
Последовательность подготовки научной работы может быть такой: