АМОРФНЫЙ ОКСИД ВАНАДИЯ – НЕОРГАНИЧЕСКИЙ РЕЗИСТ ДЛЯ НАНОЛИТОГРАФИИ
Основным технологическим процессом в микроэлектронике в течении более 40 лет продолжает оставаться литография. Литографические процессы классифицируются по способу энергетического воздействия (экспонирования) на чувствительный слой (резист) наносимый на полупроводниковую подложку: оптическая, электронно-лучевая (ЭЛ), рентгеновская и ионная литография. Анализируя ключевые аспекты литографического процесса с разрешением <100 нм, нужно выделить две основные проблемы: источник экспонирования и адекватный резист. Любые из разрабатываемых систем экспонирования (в частности, оптические DUV и EUV и ЭЛ) в принципе обеспечивают необходимое разрешение, тогда как проблема резиста остается открытой [1]. Одна из нерешенных задач заключается в низкой стойкости к плазменным процессам существующих резистов. Резистивные материалы, представляющие собой органические полимерные композиции (например, PMMA), легко разрушаются в ходе плазменного травления.
Ранее нами было показано [2], что перспективными для разработки неорганических резистов являются метастабильные аморфные пленки диоксида ванадия, имеющие высокую чувствительность к фотонному и электронному облучениям.
В данной работе представлены результаты, полученные при разработке электронно-лучевого литографического процесса с негативным неорганическим резистом на основе аморфных оксидов ванадия. Аморфные пленки оксида ванадия были получены методом анодного окисления. После ЭЛ обработки происходит изменение физико-химических свойств материала, заключающееся, в частности, в росте плазменной и химической стабильности оксида, что позволяет проводить селективное травление пленки на этапе проявления резиста. Перечислим основные параметры и характеристики оксидно-ванадиевого резиста.
Чувствительность к электронно-лучевому экспонированию Dmin. Чувствительность зависит от параметров экспонирования, условий окисления, времени хранения. Для энергии электронов в пределах 1-15 кэВ минимальные дозы обеспечивающие проявление линий шириной ~ 100 нм достигали 15-20 мкКл/см2. Для энергий электронов 20-50 кэВ Dmin увеличивается до 50-100 мкКл/см2. Отметим также, что Dmin зависит от экспозиционного тока и уменьшается с его ростом.
Разрешение оксидно-ванадиевого резиста. При 50 кВ экспонировании было получено разрешение меньше 100 нм (~ 70 нм). Экспозиционные дозы при этом достигали значений 200 - 300 мкКл/см2. Уменьшение размера зерен металлического ванадия или переход на альтернативные методы получения оксидных слоев обеспечивает более высокое разрешение.
Термо- и плазмостабильность оксидно-ванадиевого резиста. Каждый из слоев оксидно-ванадиевого резиста обладает высокой термо и плазмостабильностью, характерной для неорганических материалов. Это позволяет проявлять резист сухими плазменными процессами, которые обеспечивают высокое разрешение.
Для оптимального литографического процесса необходимо обеспечить отношение высоты линии резиста к ширине ~ 1: 1. Высокая стабильность оксида ванадия позволяет проводить подобный режим травления.
В заключение рассмотрим возможные механизмы трансформации свойств оксидов переходных металлов под действием электронного облучения. При больших дозах облучения характер модификации свойств аналогичен процессам, наблюдаемым при термической обработке оксидных пленок. Доминирующей причиной модификации свойств в данном случае являются кристаллизационные процессы в исходно аморфных структурах. Естественно предположить развитие процессов кристаллизации и при ЭЛ обработке оксидов. Это подтверждается прямыми рентгенографическими исследованиями изменения структуры аморфных оксидов ванадия [3].
Определенные сложности возникают при анализе эффекта модификации свойств оксидов при низких плотностях энергии (малых дозах). Мы полагаем, что наиболее вероятным процессом в данном случае является электронно-лучевое возбуждение перехода металл-изолятор в VO2 и переход пленки в металлическое состояние. При этом также происходит электронно-индуцированное изменение стехиометрии оксида за счет перераспределения кислорода между внешними (V2O5) внутренними (VO2) слоями оксида, а также металлической подложкой. Дальнейшая генерация, под действием облучения, дефектов нестехиометрии типа кислородных вакансий, играющих роль донорных центров, будет стабилизировать металлическую фазу VO2.
Работа выполнена при поддержке гранта Министерства Образования РФ и Американского Фонда Гражданских Исследований и Развития (CRDF) № PZ-013-02.
- E.H.Anderson, G.G.Barclay, L.E.Ocola, R.L.Brainard // Microelectronic Engineering. 2002,V.61-62, P.707-715.
- A.L. Pergament, G.B. Stefanovich, E.L. Kazakova, D.G. Stefanovich, A.A. Velichko // Sol. St. Phenomens, 2003, V. 90-91, P.97-102.
- Г. Б. Стефанович, А.Л. Пергамент, А.А. Величко, Д.Г. Стефанович, Н.А. Кулдин, П. П. Борисков // Сбор. док. 15-го Межд. симпозиума «Тонкие пленки в оптике и электронике, Харьков, 2003, C.263-267.
Отзывы (через Facebook):
Оставить отзыв с помощью аккаунта FaceBook:
Статья в формате PDF 128 KB...
21 10 2019 11:11:11
Статья в формате PDF 89 KB...
20 10 2019 20:14:32
Впервые было изучено интерлейкина – 8 – 251 Т А среди женщин Азербайджана больными эндометриозом. 50 практически здоровых и 70 женщин больных эндомертиозом находились под нашем наблюдением. Исследование показали что, генетический полиморизм интерлейкина – 8 А/ Т 251 играет роль в потогенезе эндометриоза. ...
19 10 2019 2:44:50
Статья в формате PDF 91 KB...
18 10 2019 6:26:30
Статья в формате PDF 129 KB...
15 10 2019 13:10:31
Статья в формате PDF 127 KB...
13 10 2019 16:26:41
Статья в формате PDF 101 KB...
12 10 2019 2:26:28
Статья в формате PDF 108 KB...
10 10 2019 21:53:29
Статья в формате PDF 335 KB...
09 10 2019 15:48:53
Статья в формате PDF 120 KB...
08 10 2019 18:58:54
Статья посвящена вопросам изучения антимикробных свойств природных биологически активных соединений – флавоноидов и фенолкарбоновых кислот, извлекаемых методом вихревой турбоэкстракции из сырья растений рода Veronica L. (сем. Scrophulariaceae Juss.) Предуралья. На основании проведенного исследования авторы делают вывод о возможности применения растительного сырья Veronica L. в медицинской практике. ...
07 10 2019 10:59:14
Костная ткань обладает целым рядом уникальных физических свойств. Наиболее ценными с производственной точки зрения, представляются только некоторые из них: жесткость, твердость, упругость, эластичность. Наш научный интерес проявился на два основных свойства: жесткость и эластичность. ...
06 10 2019 11:49:18
Статья в формате PDF 138 KB...
05 10 2019 7:44:16
Статья в формате PDF 117 KB...
04 10 2019 23:57:29
Статья в формате PDF 115 KB...
03 10 2019 20:54:23
Статья в формате PDF 134 KB...
01 10 2019 23:35:44
Статья в формате PDF 110 KB...
30 09 2019 6:31:48
Статья в формате PDF 120 KB...
28 09 2019 15:41:58
Статья в формате PDF 126 KB...
27 09 2019 10:53:14
Статья в формате PDF 115 KB...
26 09 2019 16:40:32
Статья в формате PDF 114 KB...
25 09 2019 11:32:51
Статья в формате PDF 205 KB...
24 09 2019 4:30:32
Статья в формате PDF 109 KB...
22 09 2019 21:42:35
Статья в формате PDF 129 KB...
21 09 2019 14:54:54
Статья в формате PDF 91 KB...
20 09 2019 12:15:38
В работе сформулированы принципы валеологического мировоззрения как образца устремлений, выполняющих ориентационную, нормирующую, прогностическую функции в отношении здоровья и здорового образа жизни. ...
19 09 2019 5:55:36
Статья в формате PDF 126 KB...
18 09 2019 20:58:25
Статья в формате PDF 315 KB...
16 09 2019 0:51:19
Статья в формате PDF 140 KB...
14 09 2019 2:35:12
Статья в формате PDF 286 KB...
13 09 2019 8:13:21
Статья в формате PDF 95 KB...
11 09 2019 20:44:27
В работе изучен мозговой кровоток и его взаимосвязь с нарушением гемореологии у больных хроническими гнойными заболеваниями придаточных пазух носа в остром периоде черепно-мозговой травмы. ...
08 09 2019 9:44:51
Статья в формате PDF 317 KB...
07 09 2019 7:13:26
Статья в формате PDF 136 KB...
06 09 2019 3:57:10
Статья в формате PDF 131 KB...
05 09 2019 10:32:35
Статья в формате PDF 114 KB...
04 09 2019 0:41:14
Статья в формате PDF 138 KB...
03 09 2019 21:28:25
Статья в формате PDF 261 KB...
02 09 2019 12:12:37
Статья в формате PDF 129 KB...
01 09 2019 13:41:55
Статья в формате PDF 136 KB...
31 08 2019 17:25:49
« Что такое жизнь?» Этот вопрос занимает человечество с древнейших времён. Многие философы и естествоиспытатели пытались и пытаются разрешить этот вопрос, определить жизнь как явление. Существует множество определений жизни, но, несмотря на это, среди них нет ни одного, который бы наиболее полно отразил основной принцип существования жизни, её сущность. В предлагаемой вашему вниманию статье сделана ещё одна попытка объяснения феномена жизни. Её основная идея: Жизнь - это самовоспроизводящийся катализатор диссипации энергии. Что касается самовоспроизведения, то здесь всё более или менее понятно, а вот словосочетание «катализатор диссипации» требует некоторых разъяснений. Диссипация - термин, обозначающий рассеяние энергии, т.е. её переход с потенциально более высокого уровня на более низкий - тепловой уровень. В свете рассматриваемого определения жизни подразумевается, что энергия квантов солнечного света, которые могут странствовать в космосе «бесконечно», будучи поглощенной растениями поэтапно диссипатируется, в процессах жизнедеятельности и формирования собственных структур последовательными участниками пищевой цепи (растение - травоядное - хищник - падальщики), в тепловое излучение. Таким образом, живое вещество, многократно ускоряя процесс диссипации энергии солнечных квантов в тепловое излучение, играет в нем роль специфического катализатора. Далее рассматривается ряд важных следствий, вытекающих из данного определения. ...
30 08 2019 1:55:59
Статья в формате PDF 79 KB...
29 08 2019 1:36:30
Статья в формате PDF 119 KB...
27 08 2019 23:22:16
Статья в формате PDF 107 KB...
26 08 2019 21:41:47
По мере прогрессирования В И Ч-инфекции наблюдается дисбаланс в выработке цитокинов, характеризующийся переключением Тh-1 ответа на Тh-2. Это, в свою очередь, приводит к прогрессированию иммуносупрессии и развитию оппортунистических инфекций. Определено, что IFN-γ, IL-2, IL-4, IL-10 и TGFβ могут обладать разнонаправленным действием в зависимости от локальных условий. Оценка иммунологических параметров может определять прогноз развития заболевания и коpрегировать интенсивность противовирусной терапии. ...
24 08 2019 18:22:43
Статья в формате PDF 111 KB...
22 08 2019 20:29:46
Статья в формате PDF 174 KB...
21 08 2019 14:45:49
Статья в формате PDF 255 KB...
20 08 2019 15:36:10
Статья в формате PDF 112 KB...
19 08 2019 7:25:20
В статье излагается позиция автора о необходимости максимально ответственно относиться к своему здоровью, исходя из объективных предпосылок нашего времени. ...
18 08 2019 18:35:41
В настоящей статье представлена многокритериальная математическая модель организации личностно-ориентированного обучения учащихся. Построена экстремальная модель на языке теории гиперграфов. ...
17 08 2019 6:36:58
Статья в формате PDF 113 KB...
15 08 2019 18:44:42
Статья в формате PDF 112 KB...
14 08 2019 21:51:17
Статья в формате PDF 104 KB...
13 08 2019 8:58:12
Статья в формате PDF 117 KB...
12 08 2019 22:38:39
Статья в формате PDF 221 KB...
11 08 2019 9:32:44
Статья в формате PDF 116 KB...
09 08 2019 8:29:54
Статья в формате PDF 289 KB...
08 08 2019 18:34:50
Статья в формате PDF 112 KB...
07 08 2019 23:46:48
Статья в формате PDF 107 KB...
06 08 2019 3:57:28
Статья в формате PDF 130 KB...
05 08 2019 9:25:32
Статья в формате PDF 119 KB...
04 08 2019 5:21:28
Статья в формате PDF 119 KB...
02 08 2019 14:49:10
Статья в формате PDF 123 KB...
01 08 2019 12:25:13
Статья в формате PDF 170 KB...
31 07 2019 13:40:39
Статья в формате PDF 102 KB...
30 07 2019 8:35:59
Статья в формате PDF 124 KB...
29 07 2019 22:56:37
Статья в формате PDF 107 KB...
28 07 2019 5:34:14
Статья в формате PDF 195 KB...
27 07 2019 13:51:20
Статья в формате PDF 98 KB...
26 07 2019 9:43:43
Статья в формате PDF 119 KB...
24 07 2019 22:32:52
Измерена подъемная сила, создаваемая скошенным экранированным кольцевым крылом. Показано, что экспериментальные результаты удовлетворяют свойству автомодельности. ...
23 07 2019 18:40:55
Статья в формате PDF 108 KB...
22 07 2019 14:31:33
Статья в формате PDF 425 KB...
21 07 2019 6:41:31
Статья в формате PDF 120 KB...
20 07 2019 22:21:49
Статья в формате PDF 262 KB...
19 07 2019 15:30:50
Статья в формате PDF 133 KB...
18 07 2019 12:17:17
Изучено влияние солей кадмия, свинца и марганца на содержание белков в сыворотке крови сеголеток карпа. Показаны разнонаправленные изменения белкового состава сыворотки крови рыб при воздействии солей тяжелых металлов, о чем можно судить на основании изменения А/G индекса. При хроническом действии ионов кадмия отмечено значительное преобладание суммарного содержания альбуминов над глобулинами на протяжении всего эксперимента, пребывание рыб в среде с ионами свинца сопровождалось более значительным ростом содержания глобулинов, тогда как при действии ионов марганца не выявлен однонаправленный характер изменения соотношения альбуминов и глобулинов. ...
17 07 2019 20:35:36
Статья в формате PDF 282 KB...
16 07 2019 0:47:17
В статье показано увеличение интереса граждан России к истории и культуре стран ислама. Это связано с повышением политической активности этих стран и расширением их туристического сервиза. ...
15 07 2019 19:51:37
Статья в формате PDF 267 KB...
14 07 2019 9:11:46
Статья в формате PDF 111 KB...
12 07 2019 22:20:35
Статья в формате PDF 170 KB...
11 07 2019 3:23:20
Статья в формате PDF 119 KB...
10 07 2019 5:10:37
Статья в формате PDF 107 KB...
09 07 2019 8:48:13
Статья в формате PDF 131 KB...
08 07 2019 9:45:43
Статья в формате PDF 240 KB...
07 07 2019 23:33:53
Статья в формате PDF 98 KB...
06 07 2019 16:28:50
Статья в формате PDF 152 KB...
05 07 2019 1:50:58
Статья в формате PDF 189 KB...
04 07 2019 17:29:21
По результатам измерений ширины годичных слоев на рабочей части керна и определения радиального роста дерева, и последующей идентификации по ним статистической закономерности, выполняют прогнозирование на ретроспективу на число лет с начала рабочей зоны керна до момента начала жизни измеряемого учетного дерева. ...
02 07 2019 10:52:46
Статья в формате PDF 107 KB...
01 07 2019 10:13:31
Организация полноценного процесса познания предполагает реализацию развивающего образования и самообразования, непрерывность данного процесса на всех его ступенях. Понятие интегрирует в себе процесс и итог познания сущности предметов, явлений, включает рефлексивные процессы мышления, обеспечивая их необратимость, свернутость, системность. Эмоциональное отношение ребенка к изучаемому материалу создает в мышлении своеобразную доминанту, поддерживающую любознательность и интерес. Основная особенность опытно-экспериментальной деятельности состоит в наличии возможности управлять ходом изучения явления, здесь ребенок проявляет собственную активность и творчество в процессе получения новых знаний. Опытно-экспериментальную деятельность по развитию естественнонаучных понятий необходимо строить в соответствии с четырьмя этапами диалектического познания: основание - ядро - следствие – общие критические истолкования, а также с учетом обобщенного плана проведения опыта: цель - схема - ход - результат. Методика организации опытно-экспериментальной деятельности по развитию естественнонаучных понятий дошкольников и младших школьников раскрыта нами на примере понятия «свет». Развитие естественнонаучных понятий дошкольников и младших школьников эффективно в условиях личностно-ориентированного образования, обращенного к чувствам, индивидуально неповторимому миру человека. ...
30 06 2019 21:29:59
Статья в формате PDF 245 KB...
29 06 2019 18:13:42
Статья в формате PDF 113 KB...
28 06 2019 1:35:21
Статья в формате PDF 265 KB...
27 06 2019 13:36:27
Статья в формате PDF 117 KB...
26 06 2019 13:19:12
Статья в формате PDF 304 KB...
25 06 2019 9:17:24
Статья в формате PDF 90 KB...
24 06 2019 12:34:50
Статья в формате PDF 127 KB...
22 06 2019 17:20:41
Статья в формате PDF 127 KB...
21 06 2019 12:24:30
Статья в формате PDF 286 KB...
20 06 2019 18:34:33
Статья в формате PDF 304 KB...
19 06 2019 7:45:37
Статья в формате PDF 139 KB...
18 06 2019 13:38:51
Статья в формате PDF 103 KB...
16 06 2019 4:15:11
Статья в формате PDF 133 KB...
15 06 2019 3:33:22
Статья в формате PDF 126 KB...
14 06 2019 22:24:27
Статья в формате PDF 98 KB...
13 06 2019 7:50:17
Статья в формате PDF 137 KB...
10 06 2019 14:10:45
Статья в формате PDF 275 KB...
09 06 2019 22:58:12
Статья в формате PDF 172 KB...
08 06 2019 7:40:37
Статья в формате PDF 107 KB...
07 06 2019 22:38:26
Статья в формате PDF 102 KB...
06 06 2019 14:26:26
Химиотерапевтические средства в комплексе с хирургическими операциями широко используются для лечения онкологических больных. Несмотря на то, что арсенал этих препаратов широко представлен, все эти препараты обладают высокой токсичностью. Результаты цитогенетических исследований, проводимых на семенах пшеницы безостая – 1 показали, что 0,01; 0,02 и 0,05 % растворы исследуемого вещества не обладают цитотоксичностью, и лишь в разведении 0,1 % обнаруживает слабое цитотоксическое действие. Методом биотеста было выявлено, что при внутрибрюшинном введении белым мышам 1 мл раствора 4-аммоний пиридин тетрахлорпалладита исследуемое вещество обнаруживает высокую токсичность, которая усиливается со времени, начиная с момента введения, и зависит от концентрации введенного раствора. ...
05 06 2019 0:20:27
Статья в формате PDF 294 KB...
04 06 2019 6:56:34
Статья в формате PDF 507 KB...
03 06 2019 5:51:11
Статья в формате PDF 103 KB...
02 06 2019 3:27:46
Статья в формате PDF 249 KB...
01 06 2019 1:40:41
Анализ опыта по восстановлению методом агростепей растительности на нарушенных кормовых угодьях долины средней Лены показал, что метод при соблюдении экологических условий и видового состава участков обеспечивает восстановление растительности, проявляющееся в повышении проективного покрытия и доминировании в травостое целинных видов. Соответствие экологических условий и видового состава травостоя при подборе участков обеспечивает восстановление растительности нарушенных участков до 70–75 % и доминирование в травостое целинных видов до 60–65 % в условиях нормального и сильного засоления. ...
31 05 2019 0:24:13
Статья в формате PDF 323 KB...
30 05 2019 10:10:46
Медицинская пиявка (Hirudo medicinalis L.) относится к классу пиявок (Hirudinea) подклассу настоящих пиявок (Euhirudinea) отряду челюстных пиявок (Ghathobdellidae), роду Hirudo. Более 30 веков она использовалась человеком как лечебное средство. В России велик опыт клинического применения пиявки (гирудотерапия), его расцветом считаются 18-19 века, когда по экспорту пиявки Россия занимала место, равное злаковым культурам, что являлось существенной статьей дохода государственной казны. В статье показаны оптимальные условия среды для обитания медицинской пиявки и возможные лимитирующие факторы ее распространения и численности. Сегодня основной причиной снижения численности пиявки в Краснодарском крае является антропогенный фактор. Так браконьерский вылов Hirudo medicinalis привел к сильному подрыву ее популяции в большинстве районов Краснодарского края, по сравнению с серединой 90-х годов, ее численность снизилась до 10 раз. В 2002 г. губернатором Краснодарского края А. Н. Ткачевым было выпущено постановление №955 « Об изучении и сохранении медицинской пиявки на территории Краснодарского края». Важным условием сохранения медицинской пиявки в нашем крае является введение запрета на ее вылов на территории Ростовской области, куда в последнее время сместились рынки нелегальной торговли пиявкой. Идеальным вариантом стал бы запрет на ловлю пиявки во всем Южном федеральном округе и принятие коллективных мер по ее охране. ...
29 05 2019 12:16:39
Статья в формате PDF 129 KB...
28 05 2019 6:18:16
Статья в формате PDF 102 KB...
27 05 2019 11:57:42
Статья в формате PDF 110 KB...
26 05 2019 14:23:46
Статья в формате PDF 85 KB...
25 05 2019 4:48:51
Еще:
Обзоры -1 :: Обзоры -2 :: Обзоры -3 :: Обзоры -4 :: Обзоры -5 :: Обзоры -6 :: Обзоры -7 :: Обзоры -8 :: Обзоры -9 :: Обзоры -10 :: Обзоры -11 ::
Последовательность подготовки научной работы может быть такой: