АМОРФНЫЙ ОКСИД ВАНАДИЯ – НЕОРГАНИЧЕСКИЙ РЕЗИСТ ДЛЯ НАНОЛИТОГРАФИИ
Источник:
Основным технологическим процессом в микроэлектронике в течении более 40 лет продолжает оставаться литография. Литографические процессы классифицируются по способу энергетического воздействия (экспонирования) на чувствительный слой (резист) наносимый на полупроводниковую подложку: оптическая, электронно-лучевая (ЭЛ), рентгеновская и ионная литография. Анализируя ключевые аспекты литографического процесса с разрешением <100 нм, нужно выделить две основные проблемы: источник экспонирования и адекватный резист. Любые из разрабатываемых систем экспонирования (в частности, оптические DUV и EUV и ЭЛ) в принципе обеспечивают необходимое разрешение, тогда как проблема резиста остается открытой [1]. Одна из нерешенных задач заключается в низкой стойкости к плазменным процессам существующих резистов. Резистивные материалы, представляющие собой органические полимерные композиции (например, PMMA), легко разрушаются в ходе плазменного травления.
Ранее нами было показано [2], что перспективными для разработки неорганических резистов являются метастабильные аморфные пленки диоксида ванадия, имеющие высокую чувствительность к фотонному и электронному облучениям.
В данной работе представлены результаты, полученные при разработке электронно-лучевого литографического процесса с негативным неорганическим резистом на основе аморфных оксидов ванадия. Аморфные пленки оксида ванадия были получены методом анодного окисления. После ЭЛ обработки происходит изменение физико-химических свойств материала, заключающееся, в частности, в росте плазменной и химической стабильности оксида, что позволяет проводить селективное травление пленки на этапе проявления резиста. Перечислим основные параметры и характеристики оксидно-ванадиевого резиста.
Чувствительность к электронно-лучевому экспонированию Dmin. Чувствительность зависит от параметров экспонирования, условий окисления, времени хранения. Для энергии электронов в пределах 1-15 кэВ минимальные дозы обеспечивающие проявление линий шириной ~ 100 нм достигали 15-20 мкКл/см2. Для энергий электронов 20-50 кэВ Dmin увеличивается до 50-100 мкКл/см2. Отметим также, что Dmin зависит от экспозиционного тока и уменьшается с его ростом.
Разрешение оксидно-ванадиевого резиста. При 50 кВ экспонировании было получено разрешение меньше 100 нм (~ 70 нм). Экспозиционные дозы при этом достигали значений 200 - 300 мкКл/см2. Уменьшение размера зерен металлического ванадия или переход на альтернативные методы получения оксидных слоев обеспечивает более высокое разрешение.
Термо- и плазмостабильность оксидно-ванадиевого резиста. Каждый из слоев оксидно-ванадиевого резиста обладает высокой термо и плазмостабильностью, характерной для неорганических материалов. Это позволяет проявлять резист сухими плазменными процессами, которые обеспечивают высокое разрешение.
Для оптимального литографического процесса необходимо обеспечить отношение высоты линии резиста к ширине ~ 1: 1. Высокая стабильность оксида ванадия позволяет проводить подобный режим травления.
В заключение рассмотрим возможные механизмы трансформации свойств оксидов переходных металлов под действием электронного облучения. При больших дозах облучения характер модификации свойств аналогичен процессам, наблюдаемым при термической обработке оксидных пленок. Доминирующей причиной модификации свойств в данном случае являются кристаллизационные процессы в исходно аморфных структурах. Естественно предположить развитие процессов кристаллизации и при ЭЛ обработке оксидов. Это подтверждается прямыми рентгенографическими исследованиями изменения структуры аморфных оксидов ванадия [3].
Определенные сложности возникают при анализе эффекта модификации свойств оксидов при низких плотностях энергии (малых дозах). Мы полагаем, что наиболее вероятным процессом в данном случае является электронно-лучевое возбуждение перехода металл-изолятор в VO2 и переход пленки в металлическое состояние. При этом также происходит электронно-индуцированное изменение стехиометрии оксида за счет перераспределения кислорода между внешними (V2O5) внутренними (VO2) слоями оксида, а также металлической подложкой. Дальнейшая генерация, под действием облучения, дефектов нестехиометрии типа кислородных вакансий, играющих роль донорных центров, будет стабилизировать металлическую фазу VO2.
Работа выполнена при поддержке гранта Министерства Образования РФ и Американского Фонда Гражданских Исследований и Развития (CRDF) № PZ-013-02.
- E.H.Anderson, G.G.Barclay, L.E.Ocola, R.L.Brainard // Microelectronic Engineering. 2002,V.61-62, P.707-715.
- A.L. Pergament, G.B. Stefanovich, E.L. Kazakova, D.G. Stefanovich, A.A. Velichko // Sol. St. Phenomens, 2003, V. 90-91, P.97-102.
- Г. Б. Стефанович, А.Л. Пергамент, А.А. Величко, Д.Г. Стефанович, Н.А. Кулдин, П. П. Борисков // Сбор. док. 15-го Межд. симпозиума «Тонкие пленки в оптике и электронике, Харьков, 2003, C.263-267.
Отзывы (через Facebook):
Оставить отзыв с помощью аккаунта FaceBook:
Статья в формате PDF 143 KB...
13 04 2021 18:27:30
Статья в формате PDF 117 KB...
12 04 2021 20:20:12
Статья в формате PDF 89 KB...
11 04 2021 10:26:20
Статья в формате PDF 122 KB...
10 04 2021 10:14:38
Статья в формате PDF 254 KB...
09 04 2021 18:25:23
Статья в формате PDF 321 KB...
08 04 2021 2:12:32
Статья в формате PDF 267 KB...
06 04 2021 23:49:52
Статья в формате PDF 329 KB...
05 04 2021 10:12:59
Статья в формате PDF 107 KB...
04 04 2021 10:38:46
Статья в формате PDF 313 KB...
03 04 2021 23:17:49
Статья в формате PDF 106 KB...
01 04 2021 2:24:58
Статья в формате PDF 146 KB...
31 03 2021 20:37:31
Статья в формате PDF 124 KB...
30 03 2021 8:58:15
Статья в формате PDF 117 KB...
29 03 2021 19:38:26
Статья в формате PDF 245 KB...
28 03 2021 2:38:29
Статья в формате PDF 107 KB...
26 03 2021 21:14:34
Статья в формате PDF 103 KB...
25 03 2021 16:44:21
Статья в формате PDF 252 KB...
24 03 2021 17:21:38
Статья в формате PDF 277 KB...
23 03 2021 7:57:38
Статья в формате PDF 100 KB...
22 03 2021 0:33:54
Статья в формате PDF 89 KB...
21 03 2021 6:15:49
Статья в формате PDF 137 KB...
20 03 2021 5:29:24
Статья в формате PDF 112 KB...
19 03 2021 4:21:13
Статья в формате PDF 112 KB...
18 03 2021 23:56:13
Статья в формате PDF 119 KB...
17 03 2021 4:21:41
Статья в формате PDF 255 KB...
15 03 2021 12:16:10
Статья в формате PDF 120 KB...
14 03 2021 2:26:52
Статья в формате PDF 129 KB...
13 03 2021 1:57:55
Статья в формате PDF 117 KB...
12 03 2021 8:52:25
Статья в формате PDF 168 KB...
11 03 2021 14:58:41
Статья в формате PDF 116 KB...
09 03 2021 4:35:26
Закладка двенадцатиперстной кишки имеет форму короткой дуги, она преобразуется в полукольцо при поперечном положении на рубеже 6-й – 7-й недель эмбриогенеза человека. У плодов эти состояния встречаются редко. ...
07 03 2021 13:55:31
Статья в формате PDF 129 KB...
06 03 2021 6:59:59
Статья в формате PDF 133 KB...
05 03 2021 2:41:32
Статья в формате PDF 114 KB...
04 03 2021 23:18:56
Статья в формате PDF 626 KB...
03 03 2021 15:12:51
Статья в формате PDF 111 KB...
02 03 2021 16:18:35
Статья в формате PDF 90 KB...
01 03 2021 13:17:41
Установлено, что предпосевное замачивание семян и опрыскивание вегетирующих растений хлопчатника (Gossipium hirsutum L.) растворами сочетаний фитогормонов кинетина ( К Н) и гибберелловой кислоты ( Г К) и совместно с витаминами никотиновой кислотой ( Н К) и пантотеновой кислотой ( П К) эффективно стимулирует полевую всхожесть семян, рост стебля и образование побегов, среднюю площадь листа и общую фотосинтетическую листовую поверхность, улучшение водного режима. Также отмечено увеличение числа коробочек, длины волокна и выхода волокна с растения от 34,6 до 60,4 %. Наиболее эффективно предпосевное замачивание семян сочетанием фитогормонов совместно с витаминами. ...
28 02 2021 5:11:32
Статья в формате PDF 109 KB...
27 02 2021 11:47:47
Статья в формате PDF 244 KB...
26 02 2021 13:25:55
Статья в формате PDF 102 KB...
24 02 2021 17:15:48
Статья в формате PDF 117 KB...
23 02 2021 10:48:45
Статья в формате PDF 120 KB...
22 02 2021 20:53:26
В работе приводятся сведения относительно возможности применения тестовых заданий и биологических задач для исследования личностных особенностей учащихся и выявления одаренных детей. Показано, что использование этого подхода может способствовать повышению эффективности выявления школьников с повышенным уровнем интеллекта. ...
20 02 2021 15:21:57
Статья в формате PDF 114 KB...
19 02 2021 7:30:22
Статья в формате PDF 213 KB...
18 02 2021 6:42:58
Статья в формате PDF 244 KB...
17 02 2021 10:14:25
Статья в формате PDF 90 KB...
16 02 2021 16:28:21
Статья в формате PDF 263 KB...
15 02 2021 1:32:53
Статья в формате PDF 139 KB...
14 02 2021 19:52:58
Статья в формате PDF 108 KB...
12 02 2021 10:28:38
Статья в формате PDF 129 KB...
11 02 2021 23:20:40
Статья в формате PDF 105 KB...
10 02 2021 6:50:25
Статья в формате PDF 107 KB...
08 02 2021 1:42:21
Статья в формате PDF 118 KB...
07 02 2021 6:32:52
Статья в формате PDF 113 KB...
06 02 2021 22:13:11
Статья в формате PDF 94 KB...
04 02 2021 8:27:55
Статья в формате PDF 101 KB...
03 02 2021 18:50:48
Статья в формате PDF 104 KB...
02 02 2021 3:10:23
Статья в формате PDF 123 KB...
01 02 2021 20:40:42
Статья в формате PDF 125 KB...
30 01 2021 11:30:33
Статья в формате PDF 315 KB...
29 01 2021 23:11:15
Статья в формате PDF 262 KB...
28 01 2021 19:20:31
Статья в формате PDF 291 KB...
27 01 2021 21:45:22
Статья в формате PDF 131 KB...
26 01 2021 16:50:14
Статья в формате PDF 121 KB...
25 01 2021 18:30:51
Статья в формате PDF 133 KB...
24 01 2021 18:18:37
Статья в формате PDF 255 KB...
23 01 2021 19:43:48
Статья в формате PDF 425 KB...
21 01 2021 0:23:49
Статья в формате PDF 188 KB...
20 01 2021 12:33:26
Статья в формате PDF 155 KB...
19 01 2021 0:51:15
Статья в формате PDF 218 KB...
18 01 2021 19:40:19
Статья в формате PDF 130 KB...
17 01 2021 22:23:10
Научно-технический прогресс приносит новый блага цивилизации и ставит новые проблемы перед ней. Автомобильный транспорт дал людям высокую степень мобильности и комфорта, за которые, однако, приходится расплачиваться ухудшением экологии. В статье изучена динамика роста численности автомобильного и грузового транспорта в городе Сочи и тот ущерб, который транспорт наносит экологии сочинского региона. ...
16 01 2021 21:56:43
Статья в формате PDF 150 KB...
14 01 2021 21:11:34
Представлена система управления в формализованном виде, что облегчает анализ свойств системы, позволяет намечать пути ее совершенствования. ...
13 01 2021 6:29:49
Статья в формате PDF 330 KB...
12 01 2021 11:33:42
Статья в формате PDF 298 KB...
11 01 2021 6:26:49
Статья в формате PDF 134 KB...
10 01 2021 5:15:40
Статья в формате PDF 144 KB...
09 01 2021 11:55:15
Статья в формате PDF 241 KB...
08 01 2021 14:12:14
Статья в формате PDF 101 KB...
06 01 2021 7:48:13
Статья в формате PDF 118 KB...
05 01 2021 5:48:22
Статья в формате PDF 107 KB...
04 01 2021 11:14:25
Статья в формате PDF 120 KB...
02 01 2021 23:36:22
Статья в формате PDF 112 KB...
31 12 2020 20:11:59
Статья в формате PDF 379 KB...
30 12 2020 20:30:23
Статья в формате PDF 119 KB...
29 12 2020 7:51:12
Статья в формате PDF 255 KB...
28 12 2020 5:16:15
Статья в формате PDF 123 KB...
26 12 2020 17:41:48
Статья в формате PDF 109 KB...
24 12 2020 21:52:54
Статья в формате PDF 265 KB...
23 12 2020 8:52:33
Статья в формате PDF 227 KB...
22 12 2020 15:16:16
Статья в формате PDF 143 KB...
20 12 2020 23:27:42
Статья в формате PDF 106 KB...
19 12 2020 18:29:53
Статья в формате PDF 118 KB...
18 12 2020 23:27:59
Статья в формате PDF 128 KB...
17 12 2020 11:43:39
Статья в формате PDF 108 KB...
16 12 2020 1:11:51
Статья в формате PDF 110 KB...
15 12 2020 0:21:58
Статья в формате PDF 160 KB...
14 12 2020 9:26:33
Статья в формате PDF 102 KB...
13 12 2020 11:45:36
Статья в формате PDF 219 KB...
12 12 2020 4:33:24
Статья в формате PDF 321 KB...
11 12 2020 1:33:13
Поскольку средняя температура Земли очень медленно уменьшается из-за удаления от Солнца вследствие расширения Вселенной, то достаточно резкие изменения температуры в пределах нескольких градусов могут происходить только в результате пространственных и временных колебаний на самой планете. Такие колебания происходят чередованием ледниковых периодов на северных побережьях Атлантического и Тихого океанов. Анализ длительности ледниковых периодов и межледниковий Атлантического побережья позволяет утверждать, что такие качели действительно существуют, и в настоящее время происходит смена Тихоокеанского оледенения Атлантическим. Данная гипотеза позволит объяснить гибель динозавров, эволюцию лошади, расселение человека и прогнозировать глобальные изменения климата. ...
10 12 2020 22:46:30
Статья в формате PDF 120 KB...
09 12 2020 1:32:39
Статья в формате PDF 441 KB...
08 12 2020 4:49:53
Статья в формате PDF 252 KB...
07 12 2020 18:40:23
Статья в формате PDF 142 KB...
05 12 2020 11:47:23
Статья в формате PDF 358 KB...
04 12 2020 17:14:39
Статья в формате PDF 106 KB...
03 12 2020 14:58:30
Статья в формате PDF 284 KB...
02 12 2020 20:32:42
Статья в формате PDF 120 KB...
01 12 2020 7:47:21
Статья в формате PDF 99 KB...
30 11 2020 21:10:33
Статья в формате PDF 300 KB...
29 11 2020 21:18:53
Статья в формате PDF 101 KB...
28 11 2020 5:13:56
Статья в формате PDF 240 KB...
27 11 2020 11:15:55
Статья в формате PDF 115 KB...
26 11 2020 1:46:55
Рассматриваются особенности изменения растительности и почв на протяжении пяти историко-экологических этапов трансформации восточноевропейских степей во второй половине голоцена. Получены оценки поступающей в почву фитомассы, величина изымаемой продукции (в массовом выражении и через энергетические эквиваленты), а также величины энергии, формируемой в процессе гумусообразования. Установлено, что за 5000 лет отношение энергии расхода-прихода растительного вещества изменилось от 1:28 до 1:0,4, а ежегодное поступление гумуса в почвы снизилось с 5,4 до 1,6 М Дж/кв. м. ...
25 11 2020 2:37:57
Статья в формате PDF 127 KB...
24 11 2020 19:54:29
Статья в формате PDF 293 KB...
23 11 2020 0:11:10
Статья в формате PDF 117 KB...
22 11 2020 15:45:43
Реформы в образовании ума человека происходят всегда до новых циклов экономического возрождения из кризисов. Это запаздывание весьма большое у России. В развитых странах цикл реформ в образовании начинается за 3–5 лет до начала экономических реформ. Но в России долго запрягают, а потом несутся напролом, на авось. Поэтому колебательное возмущение мнений экспертов превалирует над постоянством, – менталитет очень неровный. Предлагается принципиально новая методика, основанная на анализе устойчивых закономерностей с волновыми составляющими и полученная по конкретным экспертным оценкам. Цель статьи – кратко показать возможности методологии идентификации свойств поведения у групп экспертов, как неких условных популяций много знающих и оценивающих людей, а также привести критерии поведенческой динамики по тем или иным экспертным оценкам об интернационализации российского образования. ...
20 11 2020 4:50:12
Статья в формате PDF 289 KB...
19 11 2020 23:55:15
Статья в формате PDF 156 KB...
17 11 2020 14:46:24
Статья в формате PDF 133 KB...
16 11 2020 18:25:56
Статья в формате PDF 115 KB...
15 11 2020 0:37:38
Еще:
Обзоры -1 :: Обзоры -2 :: Обзоры -3 :: Обзоры -4 :: Обзоры -5 :: Обзоры -6 :: Обзоры -7 :: Обзоры -8 :: Обзоры -9 :: Обзоры -10 :: Обзоры -11 ::